Persyaratan material inti untuk bahan habis pakai di ruang bersih adalah: pembentukan partikel yang rendah (tanpa pelepasan serat), residu ionik/non-mudah menguap yang rendah (memenuhi standar NVR/TOC), sifat antistatis (terutama ketahanan permukaan 10⁶–10⁹ Ω), ketahanan terhadap korosi kimia, dan sterilitas/kemampuan pengendalian.
Pembuatan Partikel Rendah dan Tanpa Pelepasan: Bahan yang mudah terkelupas-seperti kapas atau kertas biasa-dilarang keras. Sebagai gantinya,-poliester filamen kontinu, serat mikro, busa-densitas tinggi, atau resin sintetis khusus harus digunakan. Proses penyegelan tepi ultrasonik atau laser-diperlukan untuk memastikan pelepasan partikel yang lebih besar dari atau sama dengan 0,5 μm memenuhi standar yang ditetapkan.
Kemurnian Kimia: Bahan harus bebas dari silikon, bahan fluoresen, dan ftalat. Tingkat ekstraksi non-residu yang mudah menguap (NVR) dan total karbon organik (TOC) harus sangat rendah untuk mencegah kontaminasi pada produk atau lapisan optik.
Kontrol Statis: Sebagian besar aplikasi presisi memerlukan ketahanan permukaan agar tetap stabil dalam kisaran 10⁶–10⁹ Ω (disipatif) untuk mencegah daya tarik debu statis atau kerusakan komponen; namun, beberapa skenario khusus (seperti pengemasan chip) memungkinkan kisaran 10⁴–10¹¹ Ω.
Ketahanan Kimia dan Daya Tahan: Bahan harus tahan terhadap penyekaan berulang kali dengan isopropil alkohol (IPA), aseton, dan disinfektan asam atau basa tanpa pembengkakan, retak, atau penurunan kinerja. Sifat fisik (seperti kekuatan dan ketahanan) tidak boleh berfluktuasi lebih dari ±10% setelah beberapa siklus pembersihan atau sterilisasi.

